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35號無縫管采用多弧離子鍍與一般離子鍍相比的區別

文章出處://jp-chudian.com 人氣:0發表時間:2018/7/5 8:48:46

35號無縫管采用多弧離子鍍與一般離子鍍相比的區別

 

 

35號無縫管采用多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍采用的是弧光放電,而并不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間中形成等離子體,對基體進行沉積。

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原理,起工作過程是:

先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發源與基片之間建立一個低壓氣體放電的低溫等離子區。基片電極接上5KV直流負高壓,從而形成輝光放電陰極。輝光放電區產生的惰性氣體離子進入陰極暗區被電場加速并轟擊35號無縫管基片表面,對其進行清洗。然后進入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子區,與惰性氣體離子及電子發生碰撞,少部分產生離化。離化后的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面,致使膜層質量得到改善。

 

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